PLATIT PL2011 – für besonders grosse Volumen
Mit der PLATIT PL2011 bieten wir Ihnen eine Arc-Beschichtungsanlage mit besonders grossen Chargenvolumen. Ein speziell entwickeltes Karussell mit 5 verschiedenen Konfigurationen ermöglicht höchste Beladungsflexibilität bei gleichzeitiger Beibehaltung der Beschichtungsqualität. In einer Charge können dadurch entweder eine grosse Anzahl an Werkzeugen mit wahlweise kleinem oder grossem Durchmesser oder auch gemischte Beladungen beschichtet werden. Die Anlage hat Kapazitäten für die PVD-Beschichtung von Werkzeugen bis zu einem Durchmesser von 1423mm. Das Karussell kann mit bis zu 1800kg belastet werden.
PL2011 basiert auf der Double-Pulsed-Funktion der PL1011. Dadurch wird der Beschichtungsgeschwindigkeit im Vergleich zum Standardprozess um 30% erhöht. Gepulste Kathoden ermöglichen glattere PVD-Beschichtungen aufgrund einer verbesserten Verteilung des Lichtbogens. Der Einsatz von Arc Power Supplies bei legierten Targets verbessert die Abscheidungsrate und Schichtverteilung, gewährleistet eine gleichmässigere Target-Erosion und verlängert die Lebensdauer des Target-Materials.
Technologie
- 6 planare Arc-Kathoden, 4 davon mit gepulsten Arc Power Supplies, um ein Pulsen der Kathoden zu ermöglichen
Ätzverfahren
Die PLATIT PL2011 Beschichtungsanlage erlaubt den Einsatz von drei verschiedenen Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge) mit 2 Kathoden mit Shutter und 2 Kathoden, die als Anoden agieren
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Beladung und Zykluszeiten
- Beschichtungs-Volumen: max. ø1400 x H700mm
- Beladung: max. 1800kg
- Chargen/Tag: 2-5
Software
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Einfache Bedienung und Wartung
- Modernes User-Interface mit Menüführung auf Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit inkl. Datenaufzeichnung und Datenverwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und Fernwartung möglich
Die PVD-Beschichtungsanlage verfügt über 2 Türen und sorgt damit für einen perfekten Zugang zur Kammer. Dies vereinfacht die Wartung von Maschine und Kathoden und beschleunigt das Be- und Entladen: Während die fertige Charge durch eine Tür entnommen wird, kann die nächste Charge bereits durch die zweite Tür geladen werden.
Darüber hinaus erleichtert die stets korrekte Ausrichtung des Karussellwagens durch ein Schienensystem das Be- und Entladen von Lasten bis max. 1800kg. Die Höhe der speziell angefertigten Karussellwagen wird per Knopfdruck schnell und einfach eingestellt.
Das Karussell ist so konzipiert, dass fünf verschiedene Konfigurationen möglich sind:
- 10 Positionen = ø250mm
- 8 Positionen = ø350mm
- 6 Positionen = ø460mm
- 3 Positionen = ø650mm
- 1 Position = ø1423mm (1-achsig)
Dimensionen
- Footprint [mm]: 8000 x 5800 x 2350mm (B x T x H)