Comparison human hair and multilayer hard PVD coating

虽然PVD涂层只有几微米厚,但它可以显著提高刀具的切削速度,能有助于提高生产效率和获得更长的使用寿命(刀具寿命)。

Coating hardness comparison

这是典型的PVD涂层工艺过程

1

装载

在该工艺步骤中,PVD涂层腔室装载了基体工件。注意确保所有工件都处于最佳位置,以获得均匀的涂层厚度。

2

抽真空

在沉积PVD涂层时需要高真空,PLATIT涂层系统的抽真空过程分两个步骤进行:

  • 首先,旋片泵在将真空腔室压力从100 mbar 抽到 10- 2 mbar
  • 接着涡轮分子泵产生约1 x 10-5 mbar 的高真空

3

加热

腔室如何被加热?

加热腔室,常规的工艺温度在150 - 500°C左右。

4

等离子体刻蚀

PLATIT的涂层系统采用三种不同的蚀刻工艺一起工作:

  • LGD®(侧向辉光放电)
  • 氩气等离子体刻蚀,辉光放电
  • 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)

5

涂层沉积

只有现在才会发生实质上的涂层沉积。为此,使用PVD涂层工艺(电弧、溅射或混镀LACS®技术)又或PECVD涂层工艺。

6

冷却

成功涂层沉积后,必须以可控的方式冷却腔室。要防止过快冷却,因为这可能导致涂层基体材料产生应力或缺陷。

7

卸载

一旦冷却过程完成,就可以卸载涂层腔室。工模具或零部件现在已经涂上一层坚硬的涂层,使它们具有所需的积极的性能(高硬度,低摩擦等)。