Pi1511是一台大容量的PVD涂层设备。它在门上配置了三支旋转的PLATIT LARC®XL阴极,在腔室后方配置两支平面电弧阴极。
柱状阴极与高性能平面阴极的结合,使沉积的PLATIT特征涂层具有高度的灵活性。LARC®XL阴极具有很长的使用寿命,从而保证了单支刀具上的低涂层成本。
几种蚀刻技术都可在Pi1511涂层设备使用,各具优点:
PLATIT是一家独立的家族企业,总部位于瑞士塞尔扎克(Selzach),是一家领先的高科技PVD和PECVD涂层设备制造商,涂层设备应用于工具和机械零部件领域。
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