PLATIT Mega-PiMS – 用于旋转组件的涂层设备

PLATIT Mega-PiMS涂层设备是专为旋转组件的涂层而开发的。目的是在高亮度抛光的表面或纹理表面上涂敷光滑涂层,为此我们使用了先进的溅射技术

对于我们的标准涂层设备来说,压辊和拉刀通常都太大或太重。Mega PiMS涂层设备还经过特殊尺寸设计,以满足这些工件的特殊要求。我们开发了设计和操作概念,允许您灵活地调整涂层设备以适应工件的重量和尺寸。因此,刀具或工件的尺寸可以从ø100 x 450mm到ø600 x 3000mm。最大均匀涂层长度为2000mm,可涂层工件最重可达1000kg。

该设备易于使用,并提供最高水平的用户舒适度。装载过程已经大大简化,靶材的更换也快速简易。

为了给您提供特别大的腔室容积,Mega PiMS的真空系统做了进一步的改进。阴极位于涂层室的底部,通过这种方式,可以实现真空室中涂层厚度的最佳分布,同时最大限度地提高待涂层工件的可用空间。它们水平放置,并在靶材上方旋转。

要涂覆的刀具和工件通常由热敏钢和高速钢制成,对温度非常敏感。因此,Mega PiMS涂层设备是专门为低温过程设计的。

即便该设备是定制设备,但使用标准备件能确保设备易于维护-这使我们能够保证您常规的高质量服务。 

技术

  • 1支溅射阴极位于腔室底部
  • 1支阳极位于阴极对面

运用到的刻蚀技术

PLATIT Mega-PiMS涂层设备有两种蚀刻技术

  • LGD® (侧向辉光放电)
  • Ar 辉光放电的等离子体刻蚀

装载和运行周期

  • 最大涂层区域:ø 600 x H 3000 mm
  • 能确保涂层厚度均匀性的最大涂层区域:ø 600 x L 2000 mm
  • 最大载重:1000 kg (按要求增加载重)

软件

  • PLATIT的智能系统 (PC和PLC系统)
  • 使用和维护简单
  • 现代化的用户界面,触摸屏菜单导航
  • 实时流程可视化,包括数据记录和数据管理
  • 手动和自动的过程控制
  • 远程诊断和维护

设备尺寸

  • 外观尺寸 (设备): 4100 x 2900 x 2700mm (W x D x H)
  • 外观尺寸 (电控柜): 1900 x 1100 x 2200mm (W x D x H)

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